 No 1028：フロントハッチ式チャンバー フロントハッチ式チャンバー |
 No 1027：ロードロックチャンバー（多目的） フランジ数：ICF70x2 ICF203×6 |
 No 1026：ロードロックチャンバー（多目的） フランジ数：ICF70x2 ICF152×6 |
 No 1025：ロードロックチャンバー（多目的） フランジ数：ICF70x2 ICF114×6 |
 No 1024：MBE/PLD 汎用UHVチャンバー MBE/PLD 汎用UHVチャンバー |
 No 1023：UHVクロスチャンバー ICF253TC フランジ数：ICF70×4 ICF253×4 |
 No 1022：UHVクロスチャンバー ICF203TC フランジ数：ICF70×4 ICF203×4 |
 No 1021：6方クロスチャンバー フランジ数：ICF253×6 |
 No 1020：6方クロスチャンバー フランジ数：ICF203×6 |
 No 1019：6方クロスチャンバー フランジ数：ICF152×6 |
