
No 1051:スパッタ源
HVマグネトロンスパッタ源
600,000円
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No 1052:スパッタ源
UHVマグネトロンスパッタ源
900,000円
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No 1053:スパッタ源
HV磁性材 マグネトロンスパッタ源
660,000円
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No 1054:UHVマグネトロンスパッタ源
UHVマグネトロンスパッタ源
950,000円
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No 1055:抵抗加熱蒸発源(ボート式/バスケット式)単体
1元式
200,000円
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No 1056:抵抗加熱蒸発源(ボート式/バスケット式)単体
2元式
400,000円
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No 1057:シャッター付抵抗加熱蒸発源(ボート式/バスケット式)単体
シャッター付抵抗加熱蒸発源(ボート式/バスケット式)単体
700,000円
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No 1058:マスク付抵抗加熱蒸発源(ボート式/バスケット式)
マスク付抵抗加熱蒸発源(ボート式/バスケット式)
950,000円
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No 1059:プレート式基板加熱機構
SPH-500
950,000円
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No 1060:基板冷却機構
SPC-400
840,000円
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No 1061:冷却/加熱ユニット
冷却/加熱ユニット
150,000円
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No 1064:Sic基板加熱機構
SP-sic
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No 1065:タングステンヒーター基板回転加熱機構
SP-T1
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No 1084:グラファイトヒーター機構
SP-G1
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No 1085:ヒーターユニット
SP-H100
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No 1086:分子線セルSP140S
分子線セルSP140S
1,620,000円
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No 1087:分子線セルSP130S
分子線セルSP130S
1,580,000円
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No 1088:リチウム用セルWTL-47
リチウム用セルWTL-47
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No 1089:アルミ冷却/加熱ユニット
アルミ冷却/加熱ユニット
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No 1090:100W高周波電源
ST847B(100W)
500,000円
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No 1091:500W高周波電源+自動整合器
ST859SS
1,065,000円
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No 1092:RFジェネレーター
ST857-1(300W)
470,000円
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No 1093:RFジェネレーター
ST859-2(500W)
540,000円
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No 1094:RFジェネレーター
ST859-3(1KW)
1,020,000円
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No 1095:マッチングBOX自動整合器
S101Y-1A(300W用)
470,000円
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No 1096:マッチングBOX自動整合器
S102Y-1A(500W用)
525,000円
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No 1097:マッチングBOX自動整合器
S103Y-1A(1KW用)
620,000円
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No 1098:スパッタ用DC電源
SGS5
750,000円
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No 1099:スパッタ用DC電源
SGS10
950,000円
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No 1100:マニュアルマッチングBOX(手動整合器)
OWD-1
350,000円
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