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 No 1059：プレート式基板加熱機構 SPH-500 |
 No 1060：基板冷却機構 SPC-400 |
 No 1061：冷却／加熱ユニット 冷却／加熱ユニット |
 No 1064：Sic基板加熱機構 SP-sic |
 No 1065：タングステンヒーター基板回転加熱機構 SP-T1 |
 No 1084：グラファイトヒーター機構 SP-G1 |
 No 1085：ヒーターユニット SP-H100 |
 No 1089：アルミ冷却／加熱ユニット アルミ冷却／加熱ユニット |