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 No 1090：100W高周波電源 ST847B（100W） 500,000円 |
 No 1091：500W高周波電源＋自動整合器 ST859SS 1,065,000円 |
 No 1092：RFジェネレーター ST857-1（300W） 470,000円 |
 No 1093：RFジェネレーター ST859-2（500W） 540,000円 |
 No 1094：RFジェネレーター ST859-3（1KW） 1,020,000円 |
 No 1095：マッチングBOX自動整合器 S101Y-1A（300W用） 470,000円 |
 No 1096：マッチングBOX自動整合器 S102Y-1A（500W用） 525,000円 |
 No 1097：マッチングBOX自動整合器 S103Y-1A（1KW用） 620,000円 |
 No 1098：スパッタ用DC電源 SGS5 750,000円 |
 No 1099：スパッタ用DC電源 SGS10 950,000円 |
 No 1100：マニュアルマッチングBOX（手動整合器） OWD-1 350,000円 |
 No 1101：RFスパッタ用電源T857-1 RFスパッタ用電源T857-1 850,000円 |
 No 1102：小型抵抗加熱用電源EVP50 小型抵抗加熱用電源EVP50 330,000円 |
 No 1103：DCスパッタ用電源DSP30 DCスパッタ用電源DSP30 600,000円 |
 No 1104：セル用電源CSP35 セル用電源CSP35 380,000円 |