| サブメニュー |
サブサブメニュー |
内容 |
| チャンバー・ｸﾗｽﾀｰﾌﾗﾝｼﾞ |
真空チャンバー |
小型チャンバー・MBEチャンバー・ALDチャンバー・CVDチャンバー・ボックス型チャンバー・スペースチャンバー・etc |
| クラスターフランジ |
各種チャンバー導入フランジ |
| 真空部品 |
ビューポート |
ICFガラスビューポート・石英ガラスビューポート・サファイアガラスビューポート・NWビューポート・JISビューポート・加圧式ビューポート・ビューポートシャッター.etc |
| アクセスドア |
ICFロードロックドア・加圧対応アクセスドア・etc |
| マニピュレーター |
UHV中空型Zステージ・XYステージ・XYアライメントステージ・etc |
| 回転・直線導入機 |
回転導入機・直線導入機・ウォーブルスティック・etc . |
| 熱電対 |
K熱電対・真空用熱電対・超高真空用熱電対・熱電対導入フランジ・etc |
| 導入端子 |
ICF/BNC導入端子・ICF/MHV導入端子・ICF/SHV導入端子・熱電対導入端子・etc |
| ソケットコンタクト |
真空用圧着端子・真空用ソケットコンタクト・真空用ケーブル・BURNDYソケットコンタクト |
| その他 |
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| 真空バルブ |
ゲートバルブ |
ゲートバルブ・etc . |
| バタフライバルブ |
ICFエルボ・ティ・クロス・6方クロス・ストレートニップル・変換フランジ・etc . |
| コントロールバルブ |
バタフライバルブ・etc |
| リークバルブ |
リークバルブ・etc |
| ニードルバルブ |
ニードルバルブ・etc |
| アングルバルブ |
アングルバルブ・etc . |
| ボールバルブ |
ボールバルブ・etc . |
| インラインバルブ |
インラインバルブ・etc . |
| その他 |
|
| スパッタ・蒸着用部品 |
スパッタ・蒸着源 |
マグネトロンスパッタソース・抵抗加熱蒸発源・EBガン・分子線セル・etc |
| 分子線セル |
分子線セル |
| 加熱・冷却部品／ユニット |
基板加熱機構・基板回転加熱機構・基板冷却機構・etc |
| 電源 |
RF高周波電源・DCスパッタ電源・マッチングボックス・etc |
| その他 |
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| 配管部品 |
フランジ |
ICFブランクフランジ・ゼロレングス・Iフランジ・両面エッジフランジ・etc . |
| エルボ・ティー・ニップル |
ICFエルボ・ティ・クロス・6方クロス・ストレートニップル・変換フランジ・etc . |
| アダプター |
チャンバー用ICF導入ニップル・ICF変形ニップル・作動排気フランジ・etc |
| センターリング |
ICFガラスビューポート・石英ガラスビューポート・サファイアガラスビューポート・NWビューポート・JISビューポート・加圧式ビューポート・etc |
| クランプ |
ICFガラスビューポート・石英ガラスビューポート・サファイアガラスビューポート・NWビューポート・JISビューポート・加圧式ビューポート・etc |
| ガスケット |
ICF銅ガスケット・アニールガスケット・金銀コートガスケット・ICFバイトンガスケット・etc . |
| ボルト・ナット |
ボルト・ナット |
| ガス部品 |
ガス用バルブ |
ダイアフラムバルブ・ベローズバルブ・メータリングバルブ |
| ガス導入部品・ｱﾀﾞﾌﾟﾀｰ |
ICFチューブ継手・NWチューブ継手・Sw変換継手・VCR変換継手・真空用ガス導入フランジ・etc |
| ガス容器 |
ガス容器 |
| 真空タンク |
縦型真空タンク |
縦型真空タンク |
| 横型真空タンク |
横型真空タンク |
