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 No 1841：マグネトロンスパッタ装置 MSP-mini |
 No 1842：マグネトロンスパッタ装置 MSP-1S |
 No 1843：マグネトロンスパッタ装置 MSP-20UM |
 No 1844：マグネトロンスパッタ装置 MSP-20TK |
 No 1845：マグネトロンスパッタ装置 MSP-8in |
 No 1846：マグネトロンスパッタ装置 MSP-12in |
 No 1847：マグネトロンスパッタ装置 MSP-12S |
 No 1848：マグネトロンスパッタ装置 MSP-20MT |