 No 1038：小型アルミチャンバー I 小型アルミチャンバー I |
 No 1037：ボックス型チャンバー ボックス型チャンバー |
 No 1036：スペースチャンバー スペースチャンバー |
 No 1035：中型CVDチャンバー 中型CVDチャンバー |
 No 1034：UHV・HVチャンバー（ALD・CVD） UHV・HVチャンバー（ALD・CVD） |
 No 1033：中型UHV汎用チャンバー II 中型UHV汎用チャンバー II |
 No 1032：中型UHV汎用チャンバーI 中型UHV汎用チャンバーI |
 No 1031：UHV複合型チャンバー（水冷式） UHV複合型チャンバー（水冷式） |
 No 1030：中型汎用チャンバー 中型汎用チャンバー |
 No 1029：フロントハッチ式チャンバー（縦長タイプ） HV縦長チャンバー |
