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 No 1416：UHV中空型Zステージ ICF70（トラベル20mm） |
 No 1417：UHV中空型Zステージ ICF70（トラベル40mm） |
 No 1418：UHV中空型Zステージ ICF70（トラベル80mm） |
 No 1419：3軸マニピュレーター XYZT-1 |
 No 1420：UHV中空型Zステージ ICF114（トラベル100mm） |
 No 1421：UHV中空型Zステージ ICF114（トラベル150mm） |
 No 1422：UHV中空型Zステージ ICF114（トラベル200mm） |
 No 1423：UHV中空型Zステージ ICF114（トラベル100mm） |
 No 1424：UHV中空型Zステージ ICF114（トラベル200mm） |
 No 1425：UHV中空型Zステージ ICF114（トラベル250mm） |
 No 1426：XYステージ （トラベル10mm）（X・Y） ICF70FT |
 No 1427：XYステージ ICF70-ICF114FT （トラベル10mm）（X・Y） |
 No 1428：簡易型XYステージ ICF70-ICF70 |
 No 1429：簡易型XYステージ ICF70-ICF114 |
 No 1430：簡易型XYステージ ICF70-ICF152 |
 No 1431：簡易型XYステージ ICF70-ICF203 |
 No 1432：XYアライメントステージ ICF70-ICF70 |
 No 1433：XYアライメントステージ ICF70-ICF114 |
 No 1434：XYアライメントステージ ICF70-ICF152 |
 No 1435：XYアライメントステージ ICF70-ICF203 |
 No 1436：UHV長尺中空型Zステージ（手動式） |