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部品リスト/スパッタ・蒸着用部品/加熱・冷却部品/ユニット で検索     商品数:8件がヒット

No 1059:プレート式基板加熱機構
SPH-500
950,000円

No 1060:基板冷却機構
SPC-400
840,000円

No 1061:冷却/加熱ユニット
冷却/加熱ユニット
150,000円

No 1064:Sic基板加熱機構
SP-sic

No 1065:タングステンヒーター基板回転加熱機構
SP-T1

No 1084:グラファイトヒーター機構
SP-G1

No 1085:ヒーターユニット
SP-H100

No 1089:アルミ冷却/加熱ユニット
アルミ冷却/加熱ユニット
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