 No 1068：直結型油回転真空ポンプ（二段式） VRD-16 |
 No 1067：直結型油回転真空ポンプ（二段式） VRD-8 |
 No 1066：直結型油回転真空ポンプ（二段式） VRD-4 |
 No 1065：タングステンヒーター基板回転加熱機構 SP-T1 |
 No 1064：Sic基板加熱機構 SP-sic |
 No 1063：水冷ジャケットチャンバー 水冷ジャケットチャンバー |
 No 1062：JISチャンバー JISチャンバー |
 No 1061：冷却／加熱ユニット 冷却／加熱ユニット |
 No 1060：基板冷却機構 SPC-400 |
 No 1059：プレート式基板加熱機構 SPH-500 |
