| 仕様 |
流量（N2換算流量）：10,20,30,50,100,200,300,500SCCM 1,2,3,5SLM
対応ガス種：気体 ( 例：空気, 窒素, 二酸化炭素, アルゴン, 水素, ヘリウム, メタン, 酸素など)
バルブタイプ：NC：ノーマルクローズ（メーターの場合は対象外）
制御流量範囲：2～100％ F.S（メーターの場合は対象外）
流量精度：±1％ F.S（精度保証範囲15～35℃）
流量設定：本体表示設定器・イベント入出力切替デジタル：RS485 アナログ：0.1～5VDC/4.3～20mA（任意切替）
流量出力：本体表示器：7セグメントLED デジタル：RS485 アナログ：0～5VDC/4～20mA（任意切替）
再現性：±0.2％ F.S
応答時間：≦2sec
必要差圧：50～300KPa
耐圧力：1MPa(G)
使用保証温度：5～50℃、85％RH以下
外部リーク：1×10-7Pa･m3/sec He
取付姿勢：指定なし（自由）
供給電源電圧、消費電流：+24VDC、250mA未満
通信方式：デジタル：RS485 アナログ：0～5VDC/4～20mA（任意切替）
接ガス部材質：SUS316L、PTFE、フッ素ゴム
シール部材質：フッ素ゴム
アクチュエータ方式：ソレノイド（メーターの場合は対象外）
表面処理：機械加工仕上げ
接続継手：1/4in.SWL（相当品）、ワンタッチ継手、その他の継手形状についてはご相談下さい。 |
