| 仕様 |
流量（N2換算流量）：10,20,30,50,100,200,300,500SCCM 1,2,3,5SLM
対応ガス種：気体 ( 例：空気, 窒素, 二酸化炭素, アルゴン, 水素, ヘリウム, メタン, 酸素など)
バルブタイプ：NO：ノーマルオープン（メーターの場合は対象外）
制御流量範囲：5～100％ F.S（メーターの場合は対象外）
流量精度：±2％ F.S（精度保証範囲15～35℃）
流量設定信号：0.25～5VDC（メーターの場合は対象外）
流量出力信号：0～5VDC
再現性：±0.2％ F.S
応答時間：≦6sec
必要差圧：50～300KPa
耐圧力：1MPa(G)
使用保証温度：5～50℃、85％RH以下
外部リーク：1×10-7Pa･m3/sec He
取付姿勢：指定なし（自由）
供給電源電圧、消費電流：+15VDC：60mA、-15VDC：150mA
通信方式：アナログ：0～5VDC
接ガス部材質：SUS316L、PTFE、フッ素ゴム
シール部材質：フッ素ゴム
アクチュエータ方式：サーマル（メーターの場合は対象外）
表面処理：機械加工仕上げ
接続継手：1/4in.SWL（相当品）、ワンタッチ継手、その他の継手形状についてはご相談下さい。 |
