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 No 1101：RFスパッタ用電源T857-1 RFスパッタ用電源T857-1 |
 No 1102：小型抵抗加熱用電源EVP50 小型抵抗加熱用電源EVP50 |
 No 1103：DCスパッタ用電源DSP30 DCスパッタ用電源DSP30 |
 No 1104：セル用電源CSP35 セル用電源CSP35 |
 No 1832：1インチUHVスパッタカソード 1インチUHVスパッタカソード |