仕様 |
電源: AC100V(単相100V15A)1口 アース線付3芯プラグ使用(3m)
装置サイズ: 幅473mm、奥行400mm、高さ360mm
装置重量: 25kg
ロータリーポンプサイズ: 幅120mm、長さ290mm、高さ250mm 排気速度30ℓ/min 特殊オイル専用ロータリーポンプ
ロータリーポンプ重量: 11kg
試料室サイズ: 内径120mm、高さ77mm(硬質ガラス製)
電極: アノード:Φ110mm カソード:内径Φ108mm、深さ35mm (弊社特許によるホローカソード方式)
試料ステージサイズ: Φ98mm、ホローカソード内にフローティング設置
搭載可能試料サイズ: Φ98mm、試料台を含めた高さ45mm
オスミウムアンプル規格: 太さ:Φ12.8mm以内 高さ:寸胴タイプ60mm以下、アンプルタイプ65mm以下
OsO4消費量(使用回数): 1gアンプル1本あたり約100回(標準使用条件の場合) (使用頻度、成膜時間によって使用回数が変動します)
二か国語表示機能: 日本語、英語表示切替機能搭載
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