| 仕様 |
主な製品仕様
電源： ＡＣ１００Ｖ(単相１００Ｖ１５Ａ)１口
装置サイズ： 幅４００ｍｍ、奥行３６０ｍｍ、ベース高さ２８０ｍｍ ＣＡＲＢＯＮチャンバー高さ ＋１８５ｍｍ ＩＯＮチャンバー高さ ＋１０１ｍｍ
装置重量： ２９ｋｇ
ロータリーポンプ： 排気速度５０ℓ／ｍｉｎ 重量：１４．６ｋｇ
カーボン蒸着側仕様
試料室サイズ： 内径１２０ｍｍ、高さ１４０ｍｍ（硬質ガラス）
蒸着源―試料台間隔： ４５ｍｍ~７５ｍｍの範囲で調整可能
試料ステージサイズ： Φ１００ｍｍ
搭載可能試料サイズ： Φ９８ｍｍ、最大試料高さ４０ｍｍ
蒸着電源： ＢＡＫＥ、ＯＵＴＧＡＳ、ＥＶＡＰＯ． 各固定電圧３段階切換、最適電圧にプリセット
イオンチャンバー側仕様
試料室サイズ： 内径１２０ｍｍ、高さ６５ｍｍ（硬質ガラス）
電極―試料台間隔： ３５ｍｍ固定
試料台サイズ： Φ５０ｍｍ（フローティング方式）
スパッタターゲット電極： 永久磁石内蔵マグネトロン型ターゲット電極
永久磁石内蔵マグネトロン型ターゲット電極： Φ５１ｍｍ、厚さ０．１ｍｍ Ｐｔ、Ｐｔ－Ｐｄ、Ａｕ、Ａｕ－Ｐｄ、Ａｇ
スパッタ電源： ＤＣ５００Ｖ、０~５０ｍＡ（可変抵抗による調整）
親水処理用電極： Φ５０ｍｍ、ＳＵＳ製ターゲット
親水処理用電源： ＳＯＦＴ：４５０Ｖ、１０~２０ｍＡ ＨＡＲＤ：５５０Ｖ、２０~３０ｍＡ （任意で切換可能） |
