| 仕様 |
流量（N2換算流量）：10,20,30,50,100,200,300,500SCCM 1,2,3,5SLM
対応ガス種：気体 ( 例：空気, 窒素, 二酸化炭素, アルゴン, 水素, ヘリウム, メタン, 酸素など)
バルブタイプ：NO：ノーマルオープン（メーターの場合は対象外）
制御流量範囲：5～100％ F.S（メーターの場合は対象外）
流量精度：±2％ F.S（精度保証範囲15～35℃）
流量設定信号：0.25～5VDC（メーターの場合は対象外）
流量設定・出力信号／表示：0～5VDC／DP表示：スケーリング表示（トグルスイッチにて設定・出力表示切替、背面設定・出力モニター端子連動）
再現性：±0.2％ F.S
応答時間：≦6sec
必要差圧：50～300KPa
耐圧力：1MPa(G)
使用保証温度：5～50℃、85％RH以下
外部リーク：1×10-7Pa･m3/sec He
電源、消費電流：100VAC：500mA
通信方式：アナログ：0～5VDC
接ガス部材質：SUS316L、PTFE、フッ素ゴム
シール部材質：フッ素ゴム
アクチュエータ方式：サーマル（メーターの場合は対象外）
表面処理：機械加工仕上げ
接続継手：ワンタッチ継手、その他の継手形状についてはご相談下さい。
付属品：ＡＣケーブル、取扱説明書 |
