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商品NO 1064 商品名 Sic基板加熱機構 メーカー (株)スプリード 管理 (株)スプリード
型式 SP-sic 価格 商品問合せ
特徴 •ALD、CVD用基板加熱に最適
•真空中の実験に広く使用できます
カタログ
仕様 •ヒーター部:Sicヒーター
•最高加熱温度:1000℃
•上下機構:リフトピン式
•フランジ:SUS304
•サイズ:2インチ

カスタマイズ可
備考 管理NO