機器消耗品市場

商品NO	1060	商品名	基板冷却機構	メーカー	（株）スプリード	管理	（株）スプリード
		型式	SPC-400	価格		商品問合せ
特徴	•水冷ブロックにウェハを密着し冷却します •冷却方式：水（液体窒素可）					カタログ
仕様	•最高加熱温度：600℃ •基板：2〜3インチ •上下機構：手動式カスタマイズ可
備考				管理NO

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