機器消耗品市場

商品NO	1034	商品名	UHV・HVチャンバー（ALD・CVD）	メーカー	（株）スプリード	管理	（株）スプリード
		型式	UHV・HVチャンバー（ALD・CVD）	価格		商品問合せ
特徴	•ALD,CVD用に開発されたチャンバー • NW仕様のポートもあり実験の変更等が容易にできます					カタログ
仕様	SUS304 表面処理：バフ研磨+電解研磨リーク量：1.33x10-11Pa以下フランジ数：ICF203×2　ICF152×1　ICF114×2　ICF70×2　ICF34×4　NW25x4 カスタマイズ可
備考				管理NO

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