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商品NO 1307 商品名 バリアブルリークバルブ(微少ガス流量を安定調整) メーカー (株)スプリード 管理 (株)スプリード
型式 ICF70-ICF34 価格 164,000円 商品問合せ
特徴 •スパッタ装置、ガス分析装置など導入ガス流量の
調節を必要とする真空装置に使用するものです
• 極めて微少流領域から安定した調節が可能です
•ベーカブル対応
カタログ
仕様 ボディ:SUS304
調整可能最小リーク量:6.7×10-9Pa以下
バルブ全閉時リーク量:6.7×10-11Pa以下
ベーク温度:450℃
導入圧力:1MPa
ガスケット:銅
備考 管理NO