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商品NO 1091 商品名 500W高周波電源+自動整合器 メーカー (株)スプリード 管理 (株)スプリード
型式 ST859SS 価格 1,065,000円 商品問合せ
特徴 •ソリッドステート型高性能高周波電源
•自動マッチングボックスとの組み合せによりRFスパッタリングやプラズマCVDなどのプラズマ発生用に使用できます
カタログ
仕様 周波数:13.56MHz±1KHz
出力電力:0〜500W 500W 連結
出力インピーダンス:50Ω
電源:200V(単相)
高調波出力:2次波-40dB以下
クーリング:強制空冷
サイズ:191×402×360
※その他製作可

カスタマイズ可
備考 管理NO