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商品NO 1090 商品名 100W高周波電源 メーカー (株)スプリード 管理 (株)スプリード
型式 ST847B(100W) 価格 500,000円 商品問合せ
特徴 •スパッタリング、プラズマ放電装置等に対応できます
•手動整合器付き
•ケーブルはRG-8U 両端N-Pコネクタ付
カタログ
仕様 周波数:13.56MHz±1KHz
出力電力:0〜120W 100W 連結
出力インピーダンス:4〜60Ω
電源:100V(単相)
高調波出力:2次波-40dB以下
クーリング:強制空冷
サイズ:130×280×303
質量:6kg
※その他製作可

カスタマイズ可
備考 管理NO