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商品NO 1060 商品名 基板冷却機構 メーカー (株)スプリード 管理 (株)スプリード
型式 SPC-400 価格 840,000円 商品問合せ
特徴 •水冷ブロックにウェハを密着し冷却します
•冷却方式:水(液体窒素可)
カタログ
仕様 •最高加熱温度:600℃
•基板:2〜3インチ
•上下機構:手動式

カスタマイズ可
備考 管理NO