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商品NO 1053 商品名 スパッタ源 メーカー (株)スプリード 管理 (株)スプリード
型式 HV磁性材 マグネトロンスパッタ源 価格 660,000円 商品問合せ
特徴 •強力なスパッタによりデポジションレートが速い
•ターゲットサイズφ2インチ
(1インチ〜4インチ有)
カタログ
仕様 (マウントなし)
取付フランジ:ICF114〜選択可
Oリングシール(位置調整可能)
ターゲットサイズ:φ2インチ
ターゲットの厚み:非磁性材3mm/磁性材1mm以下(Fe)
最大出力:300W(RF/DC)
冷却方法:水冷式 ベーキング:150℃
コネクタ:N型
オプションシャッター 有
備考 管理NO