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商品NO 1052 商品名 スパッタ源 メーカー (株)スプリード 管理 (株)スプリード
型式 UHVマグネトロンスパッタ源 価格 900,000円 商品問合せ
特徴 •デポジションレートが速い
•メタルシールにより超高真空対応
•ターゲットサイズφ2インチ
(3インチ有)
カタログ
仕様 取り付けフランジ:ICF152
ターゲットサイズ:φ2インチ
ターゲットの厚み:非磁性材3mm/磁性材1mm以下(Fe)
最大出力:300W(RF/DC)
冷却方法:水冷式
ベーキング:150℃
コネクタ:N型
カスタマイズ可
オプションシャッター有
備考 管理NO