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商品NO 1012 商品名 UHV小型チャンバーⅢ メーカー (株)スプリード 管理 (株)スプリード
型式 UHV小型チャンバーⅢ 価格 395,000円 商品問合せ
特徴 •成膜室チャンバーとして利用されます
• 多機能な用途に使用されます
カタログ
仕様 材質:SUS304
表面処理:バフ研磨+電解研磨
リーク量:1.33x10-11Pa以下
フランジ数:ICF203×2 ICF152×2
ICF114×1 ICF70×6

カスタマイズ可
備考 管理NO