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商品NO 1010 商品名 UHV標準チャンバーI メーカー (株)スプリード 管理 (株)スプリード
型式 UHV標準チャンバーI 価格 360,000円 商品問合せ
特徴 •縦横自在
•二つ合わせれば成膜室+ロードロック室として構築できます
•多機能な用途に利用されます
カタログ
仕様 SUS304
表面処理:バフ研磨+電解研磨
リーク量:1.33x10-11Pa以下
フランジ数:ICF70×5 ICF114×1 ICF152×1 ICF203×2

カスタマイズ可
備考 管理NO