 |
 |
|
|
 No 1090：100W高周波電源 ST847B（100W） |
 No 1091：500W高周波電源＋自動整合器 ST859SS |
 No 1092：RFジェネレーター ST857-1（300W） |
 No 1093：RFジェネレーター ST859-2（500W） |
 No 1094：RFジェネレーター ST859-3（1KW） |
 No 1095：マッチングBOX自動整合器 S101Y-1A（300W用） |
 No 1096：マッチングBOX自動整合器 S102Y-1A（500W用） |
 No 1097：マッチングBOX自動整合器 S103Y-1A（1KW用） |
 No 1098：スパッタ用DC電源 SGS5 |
 No 1099：スパッタ用DC電源 SGS10 |
 No 1100：マニュアルマッチングBOX（手動整合器） OWD-1 |
 No 1101：RFスパッタ用電源T857-1 RFスパッタ用電源T857-1 |
 No 1102：小型抵抗加熱用電源EVP50 小型抵抗加熱用電源EVP50 |
 No 1103：DCスパッタ用電源DSP30 DCスパッタ用電源DSP30 |
 No 1104：セル用電源CSP35 セル用電源CSP35 |