 No 1108：高温用UHV熱電対（Kタイプ/シース型）1000℃ ICF70 線径Φ1.0mm×500L |
 No 1107：高温用UHV熱電対（Kタイプ/シース型）1000℃ ICF34 線径Φ1.0mm×500L |
 No 1106：UHV熱電対ICFマウント（Kタイプ/シース型）500℃ ICF70 線径Φ1.0mm×500L |
 No 1105：UHV熱電対ICFマウント（Kタイプ/シース型）500℃ ICF34 線径Φ1.0mm×500L |
 No 1104：セル用電源CSP35 セル用電源CSP35 |
 No 1103：DCスパッタ用電源DSP30 DCスパッタ用電源DSP30 |
 No 1102：小型抵抗加熱用電源EVP50 小型抵抗加熱用電源EVP50 |
 No 1101：RFスパッタ用電源T857-1 RFスパッタ用電源T857-1 |
 No 1100：マニュアルマッチングBOX（手動整合器） OWD-1 |
 No 1099：スパッタ用DC電源 SGS10 |
