 No 1438：ウォーブルスティック ESLR-250-H （ストローク250mm） |
 No 1437：ウォーブルスティック ESLR-150-H （ストローク150mm） |
 No 1436：UHV長尺中空型Zステージ（手動式） |
 No 1435：XYアライメントステージ ICF70-ICF203 |
 No 1434：XYアライメントステージ ICF70-ICF152 |
 No 1433：XYアライメントステージ ICF70-ICF114 |
 No 1432：XYアライメントステージ ICF70-ICF70 |
 No 1431：簡易型XYステージ ICF70-ICF203 |
 No 1430：簡易型XYステージ ICF70-ICF152 |
 No 1429：簡易型XYステージ ICF70-ICF114 |
