 No 1854：簡易型オスミウムコーター（ワイド型） HPC-1SW |
 No 1853：プラズマイオンボンバーダ PIB-20 |
 No 1852：プラズマイオンボンバーダ PIB-10 |
 No 1851：プラズマクリーナー PCU-30 |
 No 1850：マルチ成膜装置 VES-10 |
 No 1848：マグネトロンスパッタ装置 MSP-20MT |
 No 1847：マグネトロンスパッタ装置 MSP-12S |
 No 1846：マグネトロンスパッタ装置 MSP-12in |
 No 1845：マグネトロンスパッタ装置 MSP-8in |
 No 1844：マグネトロンスパッタ装置 MSP-20TK |
