 |
 |
|
|
 No 1051：スパッタ源 HVマグネトロンスパッタ源 |
 No 1052：スパッタ源 UHVマグネトロンスパッタ源 |
 No 1053：スパッタ源 HV磁性材 マグネトロンスパッタ源 |
 No 1054：UHVマグネトロンスパッタ源 UHVマグネトロンスパッタ源 |
 No 1055：抵抗加熱蒸発源（ボート式／バスケット式）単体 1元式 |
 No 1056：抵抗加熱蒸発源（ボート式／バスケット式）単体 2元式 |
 No 1057：シャッター付抵抗加熱蒸発源（ボート式／バスケット式）単体 シャッター付抵抗加熱蒸発源（ボート式／バスケット式）単体 |
 No 1058：マスク付抵抗加熱蒸発源（ボート式／バスケット式） マスク付抵抗加熱蒸発源（ボート式／バスケット式） |
 No 1059：プレート式基板加熱機構 SPH-500 |
 No 1060：基板冷却機構 SPC-400 |
 No 1061：冷却／加熱ユニット 冷却／加熱ユニット |
 No 1064：Sic基板加熱機構 SP-sic |
 No 1065：タングステンヒーター基板回転加熱機構 SP-T1 |
 No 1084：グラファイトヒーター機構 SP-G1 |
 No 1085：ヒーターユニット SP-H100 |
 No 1086：分子線セルSP140S 分子線セルSP140S |
 No 1087：分子線セルSP130S 分子線セルSP130S |
 No 1088：リチウム用セルWTL-47 リチウム用セルWTL-47 |
 No 1089：アルミ冷却／加熱ユニット アルミ冷却／加熱ユニット |
 No 1090：100W高周波電源 ST847B（100W） |
 No 1091：500W高周波電源＋自動整合器 ST859SS |
 No 1092：RFジェネレーター ST857-1（300W） |
 No 1093：RFジェネレーター ST859-2（500W） |
 No 1094：RFジェネレーター ST859-3（1KW） |
 No 1095：マッチングBOX自動整合器 S101Y-1A（300W用） |
 No 1096：マッチングBOX自動整合器 S102Y-1A（500W用） |
 No 1097：マッチングBOX自動整合器 S103Y-1A（1KW用） |
 No 1098：スパッタ用DC電源 SGS5 |
 No 1099：スパッタ用DC電源 SGS10 |
 No 1100：マニュアルマッチングBOX（手動整合器） OWD-1 |