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 No 1030：中型汎用チャンバー 中型汎用チャンバー |
 No 1031：UHV複合型チャンバー（水冷式） UHV複合型チャンバー（水冷式） |
 No 1032：中型UHV汎用チャンバーI 中型UHV汎用チャンバーI |
 No 1033：中型UHV汎用チャンバー II 中型UHV汎用チャンバー II |
 No 1034：UHV・HVチャンバー（ALD・CVD） UHV・HVチャンバー（ALD・CVD） |
 No 1035：中型CVDチャンバー 中型CVDチャンバー |
 No 1036：スペースチャンバー スペースチャンバー |
 No 1037：ボックス型チャンバー ボックス型チャンバー |
 No 1038：小型アルミチャンバー I 小型アルミチャンバー I |
 No 1039：小型アルミチャンバー II 小型アルミチャンバー II |
 No 1040：アルミチャンバー（角型） アルミチャンバー（角型） |
 No 1041：小型アルミチャンバーⅢ 小型アルミチャンバーⅢ |
 No 1042：半球チャンバー 半球チャンバー |
 No 1043：半球小型真空加圧チャンバー 半球小型真空加圧チャンバー |
 No 1044：球体真空加圧チャンバー 球体真空加圧チャンバー |
 No 1045：ロート型チャンバー ロート型チャンバー |
 No 1046：六方キューブ ICF70CU |
 No 1047：六方キューブ ICF114CU |
 No 1048：六方キューブ ICF152CU |
 No 1049：六方キューブ ICF203CU |
 No 1050：六方キューブ ICF253CU |
 No 1051：スパッタ源 HVマグネトロンスパッタ源 |
 No 1052：スパッタ源 UHVマグネトロンスパッタ源 |
 No 1053：スパッタ源 HV磁性材 マグネトロンスパッタ源 |
 No 1054：UHVマグネトロンスパッタ源 UHVマグネトロンスパッタ源 |
 No 1055：抵抗加熱蒸発源（ボート式／バスケット式）単体 1元式 |
 No 1056：抵抗加熱蒸発源（ボート式／バスケット式）単体 2元式 |
 No 1057：シャッター付抵抗加熱蒸発源（ボート式／バスケット式）単体 シャッター付抵抗加熱蒸発源（ボート式／バスケット式）単体 |
 No 1058：マスク付抵抗加熱蒸発源（ボート式／バスケット式） マスク付抵抗加熱蒸発源（ボート式／バスケット式） |
 No 1059：プレート式基板加熱機構 SPH-500 |