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 No 2030：スパッタリングAuターゲット AUT-4901 |
 No 2031：スパッタリングAuターゲット AUT-49005 |
 No 2032：スパッタリングPtターゲット PTT-4901 |
 No 2033：スパッタリングAuターゲット AUT-xxxx |
 No 2034：スパッタリングPtターゲット PTT-xxxx |