 No 1813：マスフローコントローラー1000シリーズ C1030 |
 No 1812：マスフローコントローラー1000シリーズ C1020 |
 No 1811：マスフローコントローラー1000シリーズ C1005 |
 No 1810：ガス循環精製装置：専用機 VT-50 |
 No 1809：ガス循環精製装置：専用機 OTE-70 |
 No 1808：ガス循環精製装置：専用機 DGE-45 |
 No 1807：ガス循環精製装置：セパレート型 MF-70 |
 No 1806：ガス循環精製装置：セパレート型 CL-155 |
 No 1805：ガス循環精製装置：セパレート型 CL-200 |
 No 1804：ガス循環精製装置：セパレート型 BX zero |
