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 No 1051：スパッタ源 HVマグネトロンスパッタ源 |
 No 1052：スパッタ源 UHVマグネトロンスパッタ源 |
 No 1053：スパッタ源 HV磁性材 マグネトロンスパッタ源 |
 No 1054：UHVマグネトロンスパッタ源 UHVマグネトロンスパッタ源 |
 No 1055：抵抗加熱蒸発源（ボート式／バスケット式）単体 1元式 |
 No 1056：抵抗加熱蒸発源（ボート式／バスケット式）単体 2元式 |
 No 1057：シャッター付抵抗加熱蒸発源（ボート式／バスケット式）単体 シャッター付抵抗加熱蒸発源（ボート式／バスケット式）単体 |
 No 1058：マスク付抵抗加熱蒸発源（ボート式／バスケット式） マスク付抵抗加熱蒸発源（ボート式／バスケット式） |