仕様 |
インレット フランジ:DN160ISO-K、DN160CF
アウトレット フランジ: DN25NW
排気速度: N2 400 ls-1 He 390 ls-1 H2 325 ls-1
圧縮比: N2 >1 × 1011 He 1 x 108 H2 5 x 105
RVバッキング ポンプISO/CF使用時の到達圧力: <1 x 10-6 / <1 x 10-8 Pa
推奨バッキング ポンプ* :RV12/nXDS10i
ベント ポート: 1/8インチBSPメス
パージ ポート: 1/8インチBSPメス
最大連続インレット流(窒素)† :
水冷(水温15°C、室温40°C) 105 sccm
強制空冷(室温35°C) 90 sccm
ポンプ回転速度:
公称回転速度 60,000 rpm
スタンバイ回転速度 33,000~60,000 rpmの間で可変(デフォルトは42,000 rpm)
プログラム可能な電力制限設定: 50~200Wの間で可変(デフォルトは160W)
90%の速度までの始動時間: 180秒‡
アナログ出力: ポンプ回転速度、 電力消費量、ポンプ温度、コントローラ温度
冷却方法#: 強制空冷/水冷
強制空冷時の室温: 5~35°C
冷却水の最小流量(水温度15°C): 15 l h-1
水温範囲: 10~20°C
インレット フランジの最大温度: 70°C
動作姿勢: 垂直かつ直立~ 水平+/- 2°
1メートルでの騒音レベル: <45 dB (A)
ポンプが許容できる最大磁界: 5 mT
推奨コントローラ: TIC200ターボ&インスツルメント コントローラ
休止電源: 通常は20 W
* 適用状況によっては小さめのバッキング ポンプを使用できます。 到達圧力が<500 Paの適切なダイヤフラム ポンプ(たとえばXDD1)も使用できます。
† このインレット圧力を超えると、回転速度が公称速度以下になります。
‡ 電力制限は160 Wに設定されています。
# 空冷および水冷用のアクセサリは別個に注文する必要があります。 |