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 No 1060：基板冷却機構 SPC-400 |
 No 1061：冷却／加熱ユニット 冷却／加熱ユニット |
 No 1062：JISチャンバー JISチャンバー |
 No 1063：水冷ジャケットチャンバー 水冷ジャケットチャンバー |
 No 1064：Sic基板加熱機構 SP-sic |
 No 1065：タングステンヒーター基板回転加熱機構 SP-T1 |
 No 1084：グラファイトヒーター機構 SP-G1 |
 No 1085：ヒーターユニット SP-H100 |
 No 1086：分子線セルSP140S 分子線セルSP140S |
 No 1087：分子線セルSP130S 分子線セルSP130S |
 No 1088：リチウム用セルWTL-47 リチウム用セルWTL-47 |
 No 1089：アルミ冷却／加熱ユニット アルミ冷却／加熱ユニット |
 No 1090：100W高周波電源 ST847B（100W） |
 No 1091：500W高周波電源＋自動整合器 ST859SS |
 No 1092：RFジェネレーター ST857-1（300W） |
 No 1093：RFジェネレーター ST859-2（500W） |
 No 1094：RFジェネレーター ST859-3（1KW） |
 No 1095：マッチングBOX自動整合器 S101Y-1A（300W用） |
 No 1096：マッチングBOX自動整合器 S102Y-1A（500W用） |
 No 1097：マッチングBOX自動整合器 S103Y-1A（1KW用） |
 No 1098：スパッタ用DC電源 SGS5 |
 No 1099：スパッタ用DC電源 SGS10 |
 No 1100：マニュアルマッチングBOX（手動整合器） OWD-1 |
 No 1101：RFスパッタ用電源T857-1 RFスパッタ用電源T857-1 |
 No 1102：小型抵抗加熱用電源EVP50 小型抵抗加熱用電源EVP50 |
 No 1103：DCスパッタ用電源DSP30 DCスパッタ用電源DSP30 |
 No 1104：セル用電源CSP35 セル用電源CSP35 |
 No 1105：UHV熱電対ICFマウント（Kタイプ/シース型）500℃ ICF34 線径Φ1.0mm×500L |
 No 1106：UHV熱電対ICFマウント（Kタイプ/シース型）500℃ ICF70 線径Φ1.0mm×500L |
 No 1107：高温用UHV熱電対（Kタイプ/シース型）1000℃ ICF34 線径Φ1.0mm×500L |